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近日，我司自管基金投資企業(yè)合肥御微半導體技術有限公司（以下簡稱“御微半導體”）首臺Halo-100 掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品成功發(fā)運，并順利交付國內(nèi)先進掩模廠。

御微半導體自主研發(fā)的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線的第二款產(chǎn)品，憑借御微多年來在掩模檢測領域積累的豐富經(jīng)驗和技術儲備，以高精度光學系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運動臺系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎，結(jié)合御微專有的算法和軟件系統(tǒng)，成功實現(xiàn)了針對掩模基板(blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩模基板廠全制程控制檢。 

御微半導體Halo-100掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品

我司于2023年初通過合肥國正多澤產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）投資該企業(yè)，另外，國正公司參股基金合肥石溪產(chǎn)恒二期、長三角數(shù)字基金共同助力御微半導體，未來，國正公司將充分利用資源，為御微半導體提供持續(xù)的產(chǎn)業(yè)賦能與支持，護航企業(yè)穩(wěn)步發(fā)展，推動半導體產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展。